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| 项目名称 | 集成电路用电子级硫酸及氢氟酸生产线品质提升技术改造项目 | ||
| 建设内容及规模 | 本项目利用现有生产线实施电子级硫酸、氢氟酸技术升级改造。项目引进精馏、换热、检测测试设备20余台套,优化提纯工艺、换热系统及质量检测管控体系,提高装置运行稳定性,改善产品达到G5电子级。形成年产G5电子级硫酸2万吨、G5电子级氢氟酸6000吨,产品主要应用在6-12吋集成电路先进制程。 | ||
| 项目代码 | **** | 项目单位 | **** |
| 法人代表姓名 | 孙建东 | 项目单位性质 | 私营企业 |
| 所属行政区划 | **省/**市/****开发区 | 项目所属行业 | 工业/化工 |
| 总投资 | 4000 | 建设性质 | 技改及其他 |
| 拟开工时间 | 2026-11 | 备案证状态 | |
| 申报日期 | 2026-11-06 13:58:12 | ||